Xandex は、ウエハ プローブ検査および最終検査用のモジュール式スプリング プローブ アセンブリを設計および製造します。各プローブ モジュールには、スプリング プローブ終端の伝送線のアレイが 1 つまたは複数含まれ、各アレイが 1 つの機器検査サイトに対応します。 つまり、プローブ モジュールはそれぞれ個別の検査インターフェイスです。

プローブ モジュールのフォーム ファクタと特性は、個々の検査プラットフォーム要件に基づきます。Xandex は、大手 ATE (自動検査機器) メーカーの設計チームおよび開発チームと協力して、現世代および次世代の機器タイプの帯域幅要件と信号保全性要件を満たし、さらにそれを上回るスプリング プローブ モジュールを製作しています。

ウエハ プローブ インターフェイス タワーのユーティリティ プローブ モジュール (中央) と、信号プローブ モジュール (左右)

設計:プローブ モジュールの構造

電気インターフェイスである Xandex プローブ モジュールは、プローブ ブロック、伝送線、および伝送線終端という 3 つの主要部から構成されます。

プローブ ブロックは、プローブ カードに接続される部分で、プラスチック製ハウジングと金属製スプリング プローブ挿入プレートから構成されます。ハウジングは、プローブ モジュールを装着するためのパーツです。ハウジングの金属プレートは、インターフェイスの接地面としても機能します。

モジュール中央部の伝送線は、金属プレートの穴にはめ込まれています。接地ソケットも、金属プレートの穴にはめ込まれています。 フレキシブル伝送線ケーブルの終端には、検査システムの特性と保守性の要件に適したコネクタが付いています。

モジュールのテスター側では、伝送線ケーブルの終端コネクタをプラスチック キャリアにまとめて接続できます。または、バックプレーン上の接続コネクタまたは検査エレクトロニクス ボードに直接、個別にルーティングすることもできます。

プローブ間隔と接地アイソレーション

Xandex スプリング プローブおよびソケットを利用する Xandex プローブ モジュールの信号プローブ ピン間隔に対する最小信号は、0.090 インチ (2.29 mm) です。信号-接地のピン間隔は最小 0.070 インチ (1.78 mm) です。

右のプローブ モジュールの図は、1 信号チャネルあたり 3 ピンおよび 4 ピン接地アイソレーションを利用する信号、接地、および電力/ユーティリティ チャネルのアレイを示しています。 モジュールのフォーム ファクタを少しだけ大きくすることにより、信号チャネルあたり完全な 4 ピン接地アイソレーションを実装し、パフォーマンスを向上させることができます。

真空機能

プローブ モジュールに真空機能を組み込んで、真空インターフェイス設計でプローブ モジュールを使用することができます。Xandex 真空インターフェイス テクノロジーの詳細については、ここをクリックしてください。

電気特性

プローブ ブロックの電気特性範囲は、伝送線バックプレーン / プローブ エレクトロニクス コネクタに大きく影響されます。 Xandex ブロックの帯域幅範囲は、使用するコネクタに応じて、-3 dB で 3 ～ 10 GHz です。 信号-信号のプローブ間隔は、標準で 2.5 mm です (+3Σ の反射減衰量 (VSWR) で -10 dB @ 2.8 GHz および -10 dB @ 8.8 GHz の場合)。 * RF 容量も、-1 dB で最大 18 GHz、および +3Σ の反射減衰量 (VSWR) で -13 dB @ 20 GHz になります。

Xandex 伝送線ケーブルの仕様を表示するには、ここをクリックしてください。