Bei der Suche nach Lösungen für fehlerhafte Markierungen müssen Sie bedenken, dass viele Faktoren einen Einfluss auf das endgültige Ergebnis haben. Im Folgenden eine Übersicht der Hauptgründe für fehlerhafte Markierungen: Tinte: betrifft die chemische Zusammensetzung, die Handhabung oder die Lagerung von Tinte, die zur Wafer-Markierung eingesetzt wird. Tintenpatrone: betrifft die Bauform und die Art der Verwendung der Tintenpatrone. Markieranwendung/Materialien: bezieht sich auf den Zeitpunkt im Probing-Prozess, an dem die Markierung vorgenommen wird (Inline, Offline oder Post-Probe), betrifft aber auch die Oberflächeneigenschaften des Wafers, die Wafer-Passivierungsart sowie die Weiterverarbeitung des Wafers nach dem Probing. Probe-Umgebung: bezieht sich auf den Typ und den Zustand der verwendeten Probing-Gerätschaften. Auch die Umgebungsbedingungen im Markierbereich (Temperatur, Markiergeschwindigkeit) spielen eine Rolle. Gerätewartung: bezieht sich auf den Betriebszustand der zur Tintenmarkierung verwendeten Geräte. Gerätekonfiguration: bezieht sich auf den Betrieb, die Konfiguration und die Art der Verwendung von Tintenpatronen und Tintenmarkiergeräten.
Ein Problem bei der Tintenmarkierung ist meist auf mehrere der genannten Faktoren zurückzuführen, da jeder einzelne in gewissem Maße von den anderen abhängt. Nur bei optimaler Abstimmung des Tintenmarkierprozesses und aller seiner Faktoren können optimale Ergebnisse erzielt werden. | Lösungshilfen |
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