Pneumatischer Tintenmarkierer X5200

Zeichnung des X5200-SACC-Arms
(PDF Englisch)    
Zeichnung der optischen Brücke X5210
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Die pneumatischen Tintenmarkierer der Serie X5200 sind für den Einsatz mit den P8-Probern von Tokyo Electron ausgelegt. Xandex reagiert mit der Serie X5200 auf die wachsende Verbreitung der TEL P8-Tintenmarkieranwendungen in Labors auf der ganzen Welt.

Die Serie X5200 glänzt mit überragender Leistung und Zuverlässigkeit auch bei Hochgeschwindigkeitsanwendungen und kann bis zu zwölf Punkte pro Sekunde erzeugen. Besonderes Merkmal dieser Tintenmarkierer ist ihr kompaktes Design, das Prober und Tintenmarkierer zu einer Einheit verschmelzen lässt. Der Tintenmarkierer ragt nicht über die Oberfläche des Probers hinaus. Der X5200 verbindet die Annehmlichkeit der DieMark™-Patronen mit der Verlässlichkeit eines pneumatischen Controllers und schafft auf diese Weise das ultimative Tintenmarkiersystem.

Pneumatische Tintenmarkierer basieren auf einem nicht-invasiven Verfahren. Ein direkter Kontakt mit der Wafer-Oberfläche findet nicht statt. Die Tintenabgabe erfolgt durch pneumatische Aktivierung des Shuttles und den Einstrom von Luft in das Patronenreservoir. Am tiefsten Punkt der Shuttle-Bewegung wird ein Tintenpunkt auf dem Wafer abgelegt.

Die pneumatischen DieMark™-Tintenpatronen sind mit einem Teflonröhrchen ausgestattet, das von einer Nadel aus Edelstahl eingefasst ist. Beim Öffnen der Tintenpatrone durchsticht die Nadel die Reservoirmembran, sodass die Tinte durch das Teflonröhrchen fließen kann.

Eigenschaften und Vorteile

  • Programmierbarer Punktezähler
  • Automatische Patronenvorbereitung
  • Punktgrößen zwischen 15 - 50 mil (381-1270 µm), je nach Patronengröße
  • Verwendet DieMark-2.3-Einwegpatronen. Die gefüllten und werkseitig kalibrierten Patronen werden in den Größen A5, A6 und A8 angeboten.
  • Verfügbare Tinten: Xandex 8103, 8104, 7824 oder 7824T sowie Markem™ 6990, 6993 or 6997
  • Die Montage der Serie X5200 kann am SACC-Arm oder an der optischen Brücke des Probers erfolgen.
  • Der Patronenwechsel gelingt im Handumdrehen - einfach den oberen Griff anheben und die Patrone entfernen.
  • Das X5200 eignet sich für Overhead-Tests sowie verkabelte oder Offline-Tintenmarkieranwendungen.
 

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