Nella risoluzione dei problemi d'inchiostrazione, è bene tenere a mente che sono molti i fattori che influiscono sulla capacità di ottenere buoni risultati. Le principali cause dei problemi d'inchiostrazione possono generalmente essere articolate come indicato di seguito. Inchiostro: problemi legati alla composizione chimica, alla gestione e alla conservazione degli inchiostri per la marcatura dei wafer. Cartuccia d'inchiostro: problemi relativi alla fabbricazione e all'uso del gruppo della cartuccia d'inchiostro. Applicazioni/materiali per inchiostrazione: problemi relativi al punto in cui si verifica l'inchiostrazione nel processo di sondaggio (in linea, off-line, post-sonda), alle caratteristiche della superficie del wafer, al tipo di passivazione del wafer e ai processi di gestione del wafer post-sonda. Ambiente della sonda: problemi relativi al tipo e alle condizioni dell'apparecchiatura di sondaggio utilizzata e legati alle condizioni ambientali nell'area d'inchiostrazione (temperatura, velocità d'inchiostrazione). Manutenzione delle apparecchiature: problemi relativi alle condizioni di funzionamento dell'attrezzatura d'inchiostrazione. Configurazione delle apparecchiature: problemi relativi al funzionamento, alla configurazione e all'uso delle cartucce d'inchiostro e all'hardware d'inchiostrazione.
È spesso difficile determinare la causa di un problema considerando come causa principale soltanto una delle categorie appena descritte; si tratta infatti di categorie interdipendenti che costituiscono i componenti di un processo d'inchiostrazione efficace e ben amministrato. | Guide per la risoluzione dei problemi |
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