8.) Symptôme : TACHE IRREGULIERE
Cause a) : La cartouche n'était pas amorcée correctement et doit être réamorcée (encreurs à filament uniquement).
Solution a) : Réamorcer la cartouche en suivant les instructions figurant sur l'emballage et effectuer un test d'un millier de taches sur une tranche de silicium. Cause b) : L'extrémité de l'aiguille de la cartouche est endommagée.
Solution b) : Remplacer la cartouche endommagée par une nouvelle. Cause c) : L'aiguille de la cartouche est partiellement obstruée par une particule (encreurs pneumatiques uniquement).
Solution c) : Remplacer la cartouche défectueuse par une nouvelle. Renvoyer la cartouche suspecte à Xandex pour un test et un remplacement possible sous garantie. Cause d) : Bulle d'air (encreurs pneumatiques uniquement). De petites bulles d'air peuvent se former lors des 1 000 premières taches suivant l'amorçage initial de la cartouche.
Solution d) : Effectuer un test de 1 000 taches sur une tranche de silicium. Les bulles éventuellement présentes dans la cartouche sont ainsi éliminées. Cause e) : L'encre s'est accumulée sur la partie externe en métal de l'aiguille ("agglomération" d'encre). Cela peut se produire en cas d'amorçage excessif ou si l'encreur est chauffé plusieurs fois sans déposer d'encre (par ex. si la hauteur Z est trop élevée lors du réglage initial). Cela peut également se produire lors de l'utilisation d'un système pneumatique, si une cartouche défectueuse est à l'origine d'une fuite entre les parties en Teflon et en métal de l'aiguille.
Solution e) : Retirer soigneusement en totalité l'excès d'encre de l'aiguille à l'aide d'un tissu non pelucheux avant de poursuivre l'opération d'encrage. Si l'encre continue à s'accumuler à l'extérieur de l'aiguille à plusieurs reprises, il se peut que la cartouche soit défectueuse. Elle doit alors être retournée à Xandex pour un test et un remplacement possible sous garantie. Cause f) : Problème d'équipement de l'étage Z du prober. L'assemblage de cellules photoélectriques de l'entraînement de l'étage Z est peut-être défectueux ou poussiéreux (dans le cas où le prober présente un tel équipement). Le dysfonctionnement de l'étage Z peut entraîner une course irrégulière dans la direction z, résultant en un manque de taches.
Solution f) : Se reporter à la procédure de vérification recommandée par les fabricants de probers pour garantir un fonctionnement correct de l'entraînement de l'étage Z du prober et nettoyer, régler ou remplacer les composants le cas échéant. Cause g): Problème d'équipement d'encreur (encreurs pneumatiques uniquement). La navette de l'encreur pneumatique est obstruée par de l'encre séchée ou par d'autres particules ou bien, elle a dépassé la période de maintenance préventive recommandée provoquant ainsi un mouvement irrégulier de la navette.
Solution g) : Effectuer la maintenance préventive de navette recommandée en utilisant le kit de maintenance des navettes approprié (disponible auprès de Xandex). Le remplacement de la navette peut s'avérer nécessaire si celle-ci a été endommagée à la suite d'un manque de maintenance préventive régulière. Cause h): Problème d'équipement d'encreur (encreurs pneumatiques uniquement). Le boîtier de commande pneumatique n'a pas bénéficié d'une maintenance préventive régulière ce qui a entraîné une irrégularité dans les performances de la navette et/ou de la valve de l'actionneur de la cartouche.
Solution h) : Effectuer la maintenance préventive du boîtier de commande recommandée en utilisant le kit de maintenance des boîtiers de commande approprié (disponible auprès de Xandex). Cause i) : L'encre est déposée sur une surface dont l'énergie varie. Cela peut s'expliquer par des variations dans la chimie ou la topographie de la surface.
Solution i) : Prendre des mesures pour rendre la surface uniforme. Le nettoyage au gaz plasma/l'activation de la surface et/ou le nettoyage au solvant peuvent parfois s'avérer efficaces. Cause j): La longueur du filament, le diamètre du filament ou le diamètre de l'aiguille de la cartouche ne font pas partie des spécifications (systèmes à filament uniquement).
Solution j) : Remplacer la cartouche. Renvoyer la cartouche suspecte à Xandex pour un test de confirmation et un remplacement possible sous garantie. Cause k): Encre 6993 utilisée uniquement dans les applications avec support de tranche de silicium chaud. La condensation des vapeurs du solvant de l'encre à l'extrémité de l'aiguille peut conduire à une accumulation de solvants et à un dépôt périodique sur la tranche de silicium dans certaines conditions. Cela ne se produira que pour les applications hors dispositif de test à faible rendement où de grands nombres de taches d'encre sont placés rapidement de manière rapprochée.
Solution k) : Xandex ne recommande pas l'utilisation des encres des séries 69xx avec un support de tranche de silicium chaud. 1) Réduire la vitesse d'encrage et/ou modifier la température du support de tranche de silicium. 2) Essuyer l'extrémité de l'aiguille avec un chiffon non pelucheux si une quantité notable de solvant d'encre est observée.
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